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今天很多產(chǎn)品都利用了MEMS技術(shù)，如壓力傳感器以及紅外探測器等。與傳統(tǒng)的傳感器相比，MEMS傳感器不僅體積更小、功耗更低，而且它們往往會比傳統(tǒng)傳感器更加準確、更加靈敏。隨著人們對海洋觀測的需求不斷增加和海洋觀測技術(shù)的不斷發(fā)展，MEMS技術(shù)也在逐漸進入海洋觀測技術(shù)研究領域。MEMS技術(shù)最大的優(yōu)勢就是小型化，批量制造能顯著降低大規(guī)模生產(chǎn)的成本；其次是易集成。隨著MEMS器件的優(yōu)勢獲得認可，MEMS市場步伐也在持續(xù)加快，MEMS技術(shù)在海洋觀測領域的應用正在逐步擴大。CTD設備是海洋觀測中常用的測量儀器，它可以測量海水的溫度、鹽度和深度。通常 CTD 設備包括三個傳感器件：溫度傳感器、電導率傳感器和壓力傳感器?；贛EMS的CTD傳感器已有較廣泛的研究。聲學換能器在海洋觀測中有著重要的作用，可以用于水聽器、水下聲納探測裝置，或用于水下通信，構(gòu)建水下無線傳感器網(wǎng)絡。基于 MEMS 的聲學換能器具有與壓力傳感器相近的結(jié)構(gòu)，分別有基于壓電效應和電容檢測的聲學換能器。高集成度的MEMS器件可以實現(xiàn)微米級尺寸緊密排布的二維陣列結(jié)構(gòu)，可應用與三維成像。近年來，隨著基于MEMS的慣性傳感器的技術(shù)逐漸成熟，MEMS慣性傳感器逐漸推廣應用于波浪的觀測。在海洋觀測中應用MEMS傳感器技術(shù)，可以實現(xiàn)傳感器高集成度、小型化和低功耗，從而令海洋觀測儀器體積更小、功耗更低、配置更靈活。另外MEMS聲學換能器不僅可以作為一種觀測設備，同時還可以實現(xiàn)水下通信，以構(gòu)建水下無線傳感網(wǎng)。隨著人們對海洋研究的深入和未來海洋觀測技術(shù)智能化、網(wǎng)絡化和小型化的發(fā)展，MEMS傳感器技術(shù)將以其特有的優(yōu)勢，在海洋觀測技術(shù)的發(fā)展中發(fā)揮更重要的作用。相信隨著MEMS技術(shù)日趨成熟，將更廣泛的應用在海洋觀測的各個領域中。
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