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四:壓電MEMS超聲波換能器與生物識別技術(shù) 講師:上海思立微電子科技有限公司 研發(fā)工程師 黃景澤 超聲波換能器(MUT)在醫(yī)療成像、非破壞性檢測、距離檢測等方面得到了廣泛應(yīng)用。壓電MEMS超聲換能器(PMUT)因為具有體積小、功耗低、與CMOS兼容等優(yōu)點,在手持電子設(shè)備、汽車等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景?；赑MUT的指紋識別傳感器不受溫度、環(huán)境光和干濕手指的影響,而且可以檢測到三維指紋信號(表皮和真皮指紋信號),從而具有更高的穩(wěn)定性和安全性。同時,PMUT還可以應(yīng)用于飛行時間(ToF)傳感器和血壓傳感器等生物識別技術(shù)領(lǐng)域。 本課程主要針對PMUT以及超聲波生物識別傳感器的原理、設(shè)計、制造、封裝、測試、應(yīng)用以及產(chǎn)業(yè)鏈情況進行講解。 大綱: (1)MEMS超聲波換能器基本概念及分類(PMUT、CMUT); (2)壓電MEMS超聲波換能器(PMUT)結(jié)構(gòu)及工作原理; (3)指紋識別傳感器產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(電容式、光學(xué)式和超聲波式); (4)基于PMUT的指紋識別傳感器的關(guān)鍵技術(shù)(與CMOS單片集成的設(shè)計、制造和封測等); (5)基于PMUT的指紋識別傳感器應(yīng)用領(lǐng)域及市場前景; (6)基于PMUT的ToF傳感器設(shè)計與應(yīng)用; (7)基于PMUT的血壓傳感器設(shè)計與應(yīng)用。
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