分析 （1）應用半偏法測電流表內阻，為減小實驗誤差電路電流應保持基本不變，電路電阻應很大，串聯在電路中的電阻阻值應很大；與電流表并聯的變阻器電阻應用電流表內阻相差不多；
（2）應用半偏法測電流表內阻，電流表內阻等于與之并聯的電阻阻值；根據實驗步驟應用歐姆定律與并聯電路特點分析實驗誤差；
（3）根據半偏法原理進行分析，從而明確得出電流表內阻的基本方法和步驟．

解答 解：（1）利用半偏法測量電流表G的內阻，要保證總電流基本不變，則R的阻值遠大于電流表的阻值，電阻R應該選擇D；
（2）閉合開關S₂后電流表G與R'并聯，電路總電阻變小，電路電流變大，電流表G半偏時通過電阻箱的電流大于電流表的電流，則其電阻小于電流表的內阻，我們認為電流表內阻等于R'的阻值，則電流表內阻測量值小于真實值．
（3）根據實驗原理可知，當電流表半偏時，此時電阻箱的阻值與電流表內阻相等，則此時只需記下電阻箱R'示數，則可知電流表的內阻等于電阻箱R'的示數．
故答案為：（1）D；（2）＜；（3）當電流表達半偏時R'的阻值；電阻箱的阻值R'等于待測電流表的內阻．

點評 本題考查了半偏法測電流表內阻實驗，此題綜合性強，考查知識點多，要結合串并聯關系和電表的改裝原理以及電路的選擇，關鍵還是在于對半偏法的原理的掌握情況．